Экспериментальные исследования волоконного конфокального датчика на основе метода хроматического кодирования

В работе представлены результаты экспериментальных исследований волоконного конфокального датчика на основе метода хроматического кодирования с разработанными гибридными рефракционно-­дифракционными и гиперхроматическими объективами. Данный датчик позволяет определять положение контролируемых поверхностей с высоким разрешением (погрешность не превышает 0,1–1 мкм) на рабочих отрезках от 20 до 220 мкм.