Особенности возбуждения электромагнитного поля в емкостном ВЧ-разряде. II. Симметричный разряд, полностью заполняющий вакуумную камеру при симметричном и несимметричном возбуждении
2021 ◽
Vol 47
(1)
◽
pp. 40-60
С. А. Двинин
◽
О. А. Синкевич
◽
З. А. Кодирзода
◽
Д. К. Солихов