Особенности возбуждения электромагнитного поля в емкостном ВЧ-разряде. II. Симметричный разряд, полностью заполняющий вакуумную камеру при симметричном и несимметричном возбуждении

2021 ◽  
Vol 47 (1) ◽  
pp. 40-60
Author(s):  
С. А. Двинин ◽  
О. А. Синкевич ◽  
З. А. Кодирзода ◽  
Д. К. Солихов
Sign in / Sign up

Export Citation Format

Share Document