ВЛИЯНИЕ ГАЗОВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ НА КАЧЕСТВО ВЫПУСКАЕМЫХ ИЗДЕЛИЙ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ

Значительное влияние на качество выпускаемых изделий оказывает газовакуумная система; в работе дан анализ основных компонентов газовой системы и проведена экспериментальная оценка их вклада в образование дефектов полупроводниковых структур.