КАСТОМИЗИРОВАННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ КОМПОНЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

ФГУП ЭЗАН в течение многих лет ведет разработку и серийно производит научное и промышленное физико-термическое оборудование. Предприятие выпустило десятки установок для выращивания кристаллов, молекулярнолучевой эпитаксии, вакуумных термических печей с прецизионным контролем температурного режима для термообработки в различных средах. Мы предлагаем нашим клиентам не только серийно выпускаемое оборудование. Наши компетенции позволяют нам в короткие сроки разработать и произвести модифицированное или специализированное (кастомизированное) оборудование в соответствии со специфическими задачами наших заказчиков и партнеров.

РЕШЕНИЕ ЗАДАЧ ПО ИЗМЕРЕНИЮ И КОНТРОЛЮ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭКБ СВЧ-ДИАПАЗОНА

В рамках выполнения комплексного проекта «Комплекс 4М» компанией «Микран» был разработан ряд высокотехнологичного оборудования для характеризации пассивных и активных СВЧ-устройств с диапазоном рабочих частот до 50 ГГц. Представлены основные особенности, опциональный план и возможности одного из них - многофункционального измерительного СВЧ-прибора «векторный анализатор цепей» (ВАЦ) серии «Панорама». Рассмотрены возможности измерения параметров СВЧ-узлов и блоков в коаксиальном и волноводном трактах, а также измерения параметров на пластине, в т. ч. измерения с преобразованием по частоте, измерения коэффициента шума, применение функции встраивания/исключения цепей для переноса плоскости калибровки и многопортовые измерения с применением расширителей портов М426/М826 производства компании «Микран». Также представлены типы калибровок, реализованные в ВАЦ серии «Панорама».

ВЛИЯНИЕ ГАЗОВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ НА КАЧЕСТВО ВЫПУСКАЕМЫХ ИЗДЕЛИЙ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ

Значительное влияние на качество выпускаемых изделий оказывает газовакуумная система; в работе дан анализ основных компонентов газовой системы и проведена экспериментальная оценка их вклада в образование дефектов полупроводниковых структур.

КОМПЛЕКТ СПЕЦИАЛЬНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ЭКБ НА ПЛАСТИНАХ ДИАМЕТРОМ 200 ММ С УРОВНЕМ ТЕХНОЛОГИИ 180-65 НМ

Представлены результаты испытаний опытного образца вакуумной кластерной установки, а также процессов атомно-слоевого осаждения, травления гладких щелей, поликремниевых затворов, глубоких отверстий в кремниевых пластинах и удаления полимеров из этих отверстий.

ОБОРУДОВАНИЕ И ПРОГРАММНОАППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ КОМПОНЕНТНОЙ БАЗЫ

В целях повышения эффективности испытаний электронной компонентной базы (ЭКБ) для ракетно-космической техники в НЦ СЭО АО «Российские космические системы» были разработаны: современное испытательное оборудование для проведения электротермотренировки и испытаний ЭКБ на надежность; программно-аппаратный комплекс для сбора, хранения и обработки результатов испытаний ЭКБ.

Наш вектор развития – выпуск востребованной конкурентоспособной продукции

АО "Зеленоградский нанотехнологический центр" (АО "ЗНТЦ") – предприятие, которое не только активно развивает непростое направление микроэлектронного производства, но и стремится соответствовать в этом самым передовым тенденциям, выстраивая кооперацию с ведущими отечественными вузами и предприятиями для создания полноценных цепочек от разработки ЭКБ до создания аппаратуры с ее использованием. В уходящем году компания проделала большую работу сразу по нескольким направлениям. Это сборка полупроводниковых приборов и интегральных схем, производство электронной компонентной базы по технологии нитрид галлия на кремнии и интегральная фотоника. О достигнутых результатах и наиболее перспективных областях, в которых развивается Зеленоградский наноцентр, рассказывает генеральный директор АО "ЗНТЦ" Анатолий Андреевич Ковалев. The Zelenograd Nanotechnology Center JSC (ZNTC JSC) develops microelectronics manufacturing and also strives to stay inline with the most advanced trends in this matter by arranging cooperation with leading Russian universities. ZNTC implements comprehensive flow from electronic components design to equipment creation based on these components. In this year, the company has reached a new level in semiconductor assembly, GaN-on-Si and integrated photonics manufacturing. Anatoly Kovalev, CEO of ZNTC JSC, tells about the achievements and the most promising growth lines of the company.

Электромагнитное экранирование сверхпроводниковых квантовых схем

В статье приводится обзор используемых в ведущих научных группах систем экранов квантовых схем. Выделены общие требования к построению таких систем и выявлены проблемы, связанные с большим разнообразием материалов и отсутствием методики их разработки.

Микроскопия сверхвысокого разрешения в биомедицине и биологии

Оптический микроскоп – распространенный и простой прибор для изучения объектов в микромасштабе, особенно в области биологии, биомедицины, химии. Значительное ограничение в использовании оптической микроскопии – предел оптической дифракции, который составляет примерно 250 нм в белом свете при длине волны около 550 нм и числовой апертуре микроскопа 1,0. Этого разрешения часто недостаточно для визуализации клеточных органелл, тканей, вирусных и бактериальных частиц. Микросфера на поверхности образца может преодолеть это ограничение и визуализировать структуры размером до 25 нм.

Построение, обработка и анализ трехмерных изображений в биомедицинской сканирующей зондовой микроскопии

Сканирующая зондовая микроскопия становится важным и информативным инструментом в биомедицине и медицинской диагностике благодаря разработке эффективных алгоритмов обработки данных. Программное обеспечение позволяет проводить измерения размеров, объемов, площади объектов, контурных длин, углов кристаллических структур, шероховатости поверхности, форм-фактора, коэффициентов трения и упругости, величины адгезии. Приведены данные визуализации бактериальных и клеточных структур и результаты их последующей характеризации.

Влияние структурного состояния сплава TiNi на коррозионную стойкость в активирующих электролитах

В работе исследовано коррозионное поведение сплава TiNi в крупнозернистом и ультрамелкозернистом состояниях в неорганических средах. Изучена микроструктура сплава TiNi после коррозионных испытаний гравиметрическим методом. Исследование в активных электролитах показало, что растворение TiNi в сплаве с аустенитной структурой облегчается. Высокая активность TiNi с ультрамелкозернистой структурой объясняется тем, что сплав имеет меньший размер зерна, большую длину границ и высокую плотность дислокаций по границам.