ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ТЕТРАМЕТИЛАММОНИЯ ГИДРОКСИДА ТРЕБУЕМОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ И КАЧЕСТВА, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"
В работе представлены результаты оптимизации технологии получения концентрата тетраметиламмония гидроксида (ТМАГ) мембранным электролизом водного раствора хлорида тетраметиламмония, полученные на опытно-промышленной установке.
