scholarly journals Silicon dioxide films prepared by the sol-gel method for use in elements of microsystem technique

2020 ◽  
Vol 1546 ◽  
pp. 012117
Author(s):  
A G Kozlov ◽  
E V Filonina
Author(s):  
Jianfeng Li ◽  
Tatirna Seegevna Ivanova ◽  
Hongyuan Fan ◽  
Dezhen Wang

Author(s):  
Е.И. Костылева ◽  
А.Н. Новиков

В работе изучены способы формирования наночастиц диоксида кремния и диоксида титана золь-гель методом в молекулярной сетке полимера. Для этого проводили гидролиз тетраэтоксисилана и тетрабутоксититана в ультразвуковом поле. Продукты выделяли, термически обрабатывали для удаления побочных продуктов и воды и изучали методами оптической микроскопии, ИК-спектроскопии, совмещенным дифференциально-термическим и термогравиметрическим анализом. В результате получены высокодисперсные, наноразмерные, гидрофобные с высокоразвитой удельной поверхностью частицы. Они содержат на поверхности остаточные алкокси- и гидроксильные группы. Размеры диоксида кремния составляют 10-50 нм, диоксида титана - 50-150 нм. На размер частиц и способность к агломерации существенное влияние оказывает способ смешения компонентов. Проведен гидролиз тетраэтоксисилана и тетрабутоксититана в среде водной эмульсии полидиметилсилоксанового каучука с помощью ультразвукового диспергирования. Из полученных составов удалялась вода, их отверждали и изготавливали образцы для физико-механические испытаний. Прочность при растяжении для резин, наполненных диоксидом кремния, увеличивается с 0,7 до 3,0 МПа, относительное удлинение повышается со 100% до 140 %. Вулканизаты, наполненные диоксидом титана, имеют прочность при разрыве 0,4-2,7 МПа, относительное удлинение 100-160 %.Наилучшие результаты получены при проведении совместного гидролиза тетраэтоксисилана и тетрабутоксититана. Прочность при растяжении у данных образцов составляет 3,5 МПа, относительное удлинение 180 %. Предложенная методика одновременного золь-гель синтеза в ультразвуковом поле диоксида кремния и диоксида титана позволяет улучшать физико-механические показатели вулканизатов на основе низкомолекулярного полидиметилсилоксанового каучука. The methods of formation of silicon dioxide and titanium dioxide nanoparticles by sol-gel method in a polymer molecular grid are studied. For this purpose, hydrolysis of tetraethoxysilane and tetrabutoxytitane was carried out in an ultrasonic field. The products were isolated, thermally treated to remove by-products and water, and studied by optical microscopy, IR spectroscopy, combined differential thermal and thermogravimetric analysis. As a result, highly dispersed, nanoscale, hydrophobic particles with a highly developed specific surface area were obtained. They contain residual alkoxy and hydroxyl groups on the surface. The dimensions of silicon dioxide are 10-50 nm, titanium dioxide - 50-150 nm. The size of the particles and the ability to agglomerate are significantly influenced by the method of mixing the components. Hydrolysis of tetraethoxysilane and tetrabutoxytitane was carried out in an aqueous emulsion of polydimethylsiloxane rubber using ultrasonic dispersion. Water was removed from the obtained compositions, they were cured and samples were made for physico-mechanical tests. The tensile strength for rubbers filled with silicon dioxide increases from 0.7 to 3.0 MPa, the elongation increases from 100% to 140%. Vulcanizates filled with titanium dioxide have a tensile strength of 0.4-2.7 MPa, elongation of 100-160%. The best results were obtained during the joint hydrolysis. The tensile strength of these samples is 3.5 MPa, the elongation is 180%. The proposed method of simultaneous sol-gel synthesis in an ultrasonic field of silicon dioxide and titanium dioxide allows improving the physical and mechanical properties of vulcanizates based on low molecular weight polydimethylsiloxane rubber.


2016 ◽  
Vol 89 (1) ◽  
pp. 108-113 ◽  
Author(s):  
A. G. Morozov ◽  
B. B. Troitskii ◽  
A. A. Lokteva ◽  
T. I. Lopatina ◽  
M. A. Baten’kin ◽  
...  

RSC Advances ◽  
2020 ◽  
Vol 10 (32) ◽  
pp. 18565-18571
Author(s):  
Lihui Meng ◽  
Qingwang Liu ◽  
Jigang Wang ◽  
Zhenzhong Fan ◽  
Xiaoming Wei

In this study, mesoporous SiO2 nanoparticles (MSNs) were synthesized via a sol–gel method and modified with (3-chloropropyl) trimethoxysilane to make them hydrophobic (MMSNs).


BioResources ◽  
2016 ◽  
Vol 11 (4) ◽  
Author(s):  
Yunlin Fu ◽  
Xiaoling Liu ◽  
Fangchao Cheng ◽  
Jianping Sun ◽  
Zhiyong Qin

1984 ◽  
Vol 32 ◽  
Author(s):  
J. Martinsen ◽  
R. A. Figat ◽  
M. W. Shafer

The formation and characterization of thin ceramic coatings is currently an active area in materials science. Specifically, there has been increased interest in these materials as dielectric and optical layers for advanced microelectronic circuitry [1]. This is in addition to their continued use and evaluation as protective coatings in a variety of applications [2]. One method of forming these coatings is via the sol-gel technique. However, only a few papers have been published in this area [3–7]. Dense silicon dioxide, aluminium oxide and various glass compositions have been deposited in thin film form on various substrates. Further, silicon dioxide films, formed by the sol-gel method, have been nitrided in ammonia at high temperatures and partially converted to an oxynitride [8–11]. These films were shown to be highly non-homogeneous, with a predominance of nitrogen at the surface. Despite the desirability of dense uniform well bonded coatings of the nitrided ceramics, i.e. Si3N4 and the oxynitrides, no method yet exists for the formation of nitrides by the sol-gel method.


2010 ◽  
Vol 36 (5) ◽  
pp. 609-616 ◽  
Author(s):  
B. B. Troitskii ◽  
Yu. A. Mamaev ◽  
A. A. Babin ◽  
M. A. Lopatin ◽  
V. N. Denisova ◽  
...  

Sign in / Sign up

Export Citation Format

Share Document