Das Messen der Schichtdicke transparenter Materialien mit optischen Methoden ist eine Herausforderung, da das Material des zu messenden Objekts einen erheblichen Einfluss auf das Messergebnis hat. Im Rahmen der Normenreihe DIN 32567 werden systematische Einflüsse und Abweichungen für optische und taktile Messgeräte beschrieben sowie für einige dieser Geräte Verfahren festgelegt, mit denen die Materialeinflüsse bestimmt und korrigiert werden können.
Measuring the film thickness of transparent materials with optical methods is a challenging task because the material of the measuring object has a strong influence on the measuring result. Within the scope of the series of standards DIN 32567, systematic influences and deviations for tactile and optical measuring devices are described. Additionally, for some of these devices procedures are determined to identify and correct the material influences.
