Oral Session 1D: Diagnostics of processing plasmas; non-equilibrium plasma processing - I
2000 ◽
Vol 51
(2)
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pp. 155-160
2000 ◽
Vol 51
(2)
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pp. 147-154
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1979 ◽
Vol 40
(C7)
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pp. C7-871-C7-872