[1992] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems
Latest Publications
G. Findler
◽
J. Muchow
◽
M. Koch
◽
H. Munzel
K. Suzuki
◽
I. Shimoyama
◽
H. Miura
◽
Y. Ezura
Y. Gianchandani
◽
K. Najafi
T. Niino
◽
S. Egawa
◽
N. Nishiguchi
◽
T. Higuchi
K.J. Gabriel
◽
O. Tabata
◽
K. Shimaoka
◽
S. Sugiyama
◽
H. Fujita
M. Esashi
◽
N. Ura
◽
Y. Matsumoto
M. Boman
◽
H. Westberg
◽
S. Johansson
◽
J.-A. Schweitz
A. Prak
◽
M. Elwenspoek
◽
J.H.J. Fluitman