Molecular ion sources for low energy semiconductor ion implantation (invited)
2016 ◽
Vol 87
(2)
◽
pp. 02B702
◽
A. Hershcovitch
◽
V. I. Gushenets
◽
D. N. Seleznev
◽
A. S. Bugaev
◽
S. Dugin
◽
...
L. Pranevicius
◽
D. Milcius
◽
L.L. Pranevicius
◽
C Templier
T. V. Kulevoy
◽
G. N. Kropachev
◽
D. N. Seleznev
◽
P. E. Yakushin
◽
R. P. Kuibeda
◽
...
A. Hershcovitch
◽
V. A. Batalin
◽
A. S. Bugaev
◽
V. I. Gushenets
◽
B. M. Johnson
◽
...
A. I. Ryabchikov
◽
A. I. Ivanova
◽
O. S. Korneva
◽
D. O. Sivin
1996 ◽
Vol 14
(1)
◽
pp. 260
◽
1986 ◽
Vol 97
(2)
◽
pp. K135-K139
◽
J. Bollmann
◽
H. Klose
◽
A. Mertens
2008 ◽
Vol 93
(7)
◽
pp. 073102
◽
M. C. Salvadori
◽
M. Cattani
◽
F. S. Teixeira
◽
I. G. Brown
2016 ◽
Vol 30
(4)
◽
pp. 805-812
Ting Wang
◽
Weidong Qian
◽
Yunfang Fu
◽
Changlong Cai
◽
Peihong Mao
2008 ◽
Vol 10
(2)
◽
pp. 260-264
◽
Li Wen
◽
Wang Tao
◽
Yang Yingge
◽
Liu Dan
◽
Fan Yonghong
◽
...