scholarly journals Molecular ion sources for low energy semiconductor ion implantation (invited)

2016 ◽  
Vol 87 (2) ◽  
pp. 02B702 ◽  
Author(s):  
A. Hershcovitch ◽  
V. I. Gushenets ◽  
D. N. Seleznev ◽  
A. S. Bugaev ◽  
S. Dugin ◽  
...  
2011 ◽  
Author(s):  
T. V. Kulevoy ◽  
G. N. Kropachev ◽  
D. N. Seleznev ◽  
P. E. Yakushin ◽  
R. P. Kuibeda ◽  
...  

2006 ◽  
Author(s):  
A. Hershcovitch ◽  
V. A. Batalin ◽  
A. S. Bugaev ◽  
V. I. Gushenets ◽  
B. M. Johnson ◽  
...  

Author(s):  
A. I. Ryabchikov ◽  
A. I. Ivanova ◽  
O. S. Korneva ◽  
D. O. Sivin

1986 ◽  
Vol 97 (2) ◽  
pp. K135-K139 ◽  
Author(s):  
J. Bollmann ◽  
H. Klose ◽  
A. Mertens
Keyword(s):  

2008 ◽  
Vol 93 (7) ◽  
pp. 073102 ◽  
Author(s):  
M. C. Salvadori ◽  
M. Cattani ◽  
F. S. Teixeira ◽  
I. G. Brown

2016 ◽  
Vol 30 (4) ◽  
pp. 805-812
Author(s):  
Ting Wang ◽  
Weidong Qian ◽  
Yunfang Fu ◽  
Changlong Cai ◽  
Peihong Mao

Sign in / Sign up

Export Citation Format

Share Document