Assessing atomically thin delta-doping of silicon using mid-infrared ellipsometry
2020 ◽
Vol 35
(16)
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pp. 2098-2105
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Aaron M. Katzenmeyer
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Ting S. Luk
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Ezra Bussmann
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Steve Young
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Evan M. Anderson
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Andrew Yakimov
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Victor Kirienko
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Vyacheslav Timofeev
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Aleksei Bloshkin
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Anatolii Dvurechenskii
2017 ◽
Vol 7
(3)
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pp. 691-694
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A. Gassenq
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K. Guilloy
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N. Pauc
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D. Rouchon
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J. Widiez
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...
2017 ◽
Vol 421
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pp. 859-865
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Chennan Wang
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Ondřej Caha
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Filip Münz
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Petr Kostelník
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Tomáš Novák
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2011 ◽
Vol 519
(9)
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pp. 2604-2607
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A. Boosalis
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T. Hofmann
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J. Šik
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M. Schubert
2019 ◽
Vol 37
(6)
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pp. 060801
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Karsten Hinrichs
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Timur Shaykhutdinov
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Christoph Kratz
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Andreas Furchner
2016 ◽
Vol 227
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pp. 112-120
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Balint Fodor
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Emil Agocs
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Benjamin Bardet
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Thomas Defforge
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Frederic Cayrel
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2004 ◽
Vol 455-456
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pp. 266-271
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K. Hinrichs
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A. Röseler
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M. Gensch
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E.H. Korte
2012 ◽
Vol 112
(3)
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pp. 034511
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A. I. Yakimov
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V. A. Timofeev
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A. A. Bloshkin
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V. V. Kirienko
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A. I. Nikiforov
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2018 ◽
Vol 8
(03)
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pp. 1085-1091
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Wan Khai Loke
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Kian Hua Tan
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Satrio Wicaksono
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Soon Fatt Yoon
2013 ◽
Vol 54
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pp. 253-256
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Dong-Feng Liu
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Jian-Gang Jiang
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Yu Cheng
◽
Jia-Feng He