Pencemaran partikulat udara (PM10 dan PM2.5) tidak mengenal batas administrasi wilayah hal ini disebabkan bahwa pencemaran udara tidak hanya berasal dari wilayah lokal namun dapat bertransportasi dari provinsi maupun negara lain. Unsur sampel partikulat yang dikumpulkan di Serpong, Tangerang Selatan selama 24 jam periode tahun 2011 sampai dengan 2013 diidentifikasikan dengan Spekstroskopi Florensensi Sinar-X (XRF). Karekterisasi faktor dilakukan dengan menggunakan reseptor model positive matrix factorization (PMF) dan perkiraan lokasi sumber pencemar menggunakan metode Conditional Probability Function (CPF). Hasil menunjukkan rentang rata-rata konsentrasi massa PM2.5 adalah 12.63 ± 1.60 to 15.89 ± 1.70 μg/m3 sedangkan untuk PM10 berkisar 29.00 ± 3.96 to 31.04 ± 3:28 μg/m3. Multi unsur yang teridentifikasi dengan XRF adalah Al, Ca, Co, Cr, Cu, Fe, K, Mg, Mn, Na, Ni, Pb, S, Si, Ti, V dan Zn. Karakterisasi partikulat halus (PM2.5) teridentifikasi 5 faktor yaitu industri peleburan logam Pb (9.61%), debu tanah (17%), campuran industri peleburan logam dan garam laut (13.02%), trasnportasi (44.36%) serta pembakaran biomassa (22.58%).Kata kunci : polusi udara, spektroskopi XRF, sumber pembagian, fungsi probabilitasbersyarat