Nitrogen atom energy distributions in a hollow-cathode planar sputtering magnetron
2000 ◽
Vol 61
(2)
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pp. 1904-1911
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Zhehui Wang
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Samuel A. Cohen
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David N. Ruzic
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M. J. Goeckner
D.N. Ruzic
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M.J. Goeckner
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Samuel A. Cohen
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Zhehui Wang
2013 ◽
Vol 22
(2)
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pp. 025022
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Miguel Jiménez-Redondo
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Esther Carrasco
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Víctor J Herrero
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Isabel Tanarro
2005 ◽
Vol 21
(1)
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pp. 144-151
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John E. Foster
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Michael J. Patterson
2006 ◽
Vol 116
(1)
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pp. 30-37
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Ettore Molinari
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Massimo Tomellini
1985 ◽
Vol 82
(4)
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pp. 1920-1923
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Teiichiro Ogawa
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Shigeki Ishibashi
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Junichi Kurawaki
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Hirofumi Kawazumi
1989 ◽
Vol 162-164
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pp. 482-488
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S.J. Fielding
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P.C. Johnson
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M.J. Forrest
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D. Guilhem
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G.F. Matthews
1977 ◽
Vol 10
(3)
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pp. 299-301
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2019 ◽
Vol 66
(7)
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pp. 1719-1729
Patrick J. Griffin
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Arjan J. Koning
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Dimitri Rochman
2009 ◽
Vol 18
(3)
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pp. 034007
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2013 ◽
Vol 114
(7)
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pp. 073301
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Jing Hu
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Joshua L. Rovey