В данной работе представлены результаты разработки СВЧ монолитной интегральной схемы шестиразрядного фазовращателя и усилителя мощности диапазона частот 26-30 ГГц. СКО ошибки по фазе и амплитуде фазовращателя составили 1,2 град. и 0,13 дБ соответственно. Максимальная выходная мощность и КПД по добавленной мощности усилителя в точке сжатия Ку на 1 дБ составили 30 дБм и 20 % соответственно.
This paper describes the design, layout, and performance of 6-bit phase shifter and power amplifier monolithic microwave integrated circuit (MMIC), 26-30 GHz band. Phase shifter MMIC has RMS phase error of 1.2 deg. And RMD amplitude error is 0.13 dB. MMIC power amplifier has output power capability of 30 dBm at 1 dB gain compression (P-1dB) and PAE of 20 %.
Via hole process for GaAs monolithic microwave integrated circuit using two-step dry etching
