Sifat Termal dan Analisis Komposisi Material Barium Zirkonium Titanat (BZT) dengan Doping Lantanum dan Indium

Material Barium Zirkonium Titantat (BZT) dibuat menggunakan metode sol gel yang dilanjutkan dengan Spin Coating pada substrat Silikon. Untuk mendapatkan material Barium Zirkonium Titantat (BZT)dalam bentuk serbuk dilakukan pemanasan menggunakan hotplate pada suhu 90oC hingga larutan BZT berubah menjadi serbuk. Selanjutnya untuk menumbuhkan lapisan BZT pada substrat, dilakukan metode spin coating yang dilanjutkan proses pyrolisi. Selanjutnya substrat yang telah dilapisi larutan BZT dipanaskan pada suhu 800oC selama 3 jam. Untuk mengetahui sifat termal dan kristalisasi pada BZT dilakukan Uji DTA/TGA. Pengujian EDAX dilakukan untuk mengetahui komposisi lapisan BZT yang telah terdeposisi pada substrat. Dari hasil uji DTA/TGA terlihat bahwa proses kristalisasi BZT mulai terjadi pada suhu 400oC dan proses endotermik dari BZT terjadi pada suhu 463oC. Hasil uji EDAX komposisi unsur Barium, Titanium, serta doping Lantanum dan Indium telah terdeposisi pada subtrat silikon, serta dari hasil tersebut dapat disumpulkan kristal BZT dengan doping La dan In telah berhasil di deposisi dan ditumbuhkan pada substrat Si.