plasma cleaning
Recently Published Documents


TOTAL DOCUMENTS

318
(FIVE YEARS 47)

H-INDEX

27
(FIVE YEARS 3)

2022 ◽  
pp. 101111
Author(s):  
A.M. Dmitriev ◽  
A.G. Razdobarin ◽  
L.A. Snigirev ◽  
D.I. Elets ◽  
I.M. Bukreev ◽  
...  
Keyword(s):  

Author(s):  
Andrey Ushakov ◽  
Ulf Stephan ◽  
Olaff Steinke ◽  
Ad Verlaan ◽  
Maarten de Bock ◽  
...  

2021 ◽  
Vol 168 ◽  
pp. 112654
Author(s):  
Ulf Stephan ◽  
Olaff Steinke ◽  
Andrey Ushakov ◽  
Ad Verlaan ◽  
Maarten de Bock ◽  
...  

Author(s):  
A. E. Gorodetsky ◽  
A. V. Markin ◽  
V. L. Bukhovets ◽  
V. I. Zolotarevsky ◽  
R. Kh. Zalavutdinov ◽  
...  

2021 ◽  
Vol 16 (06) ◽  
pp. T06008
Author(s):  
E. Cosgun ◽  
B. Yasatekin ◽  
I. Kilic ◽  
A.S. Bolukdemir ◽  
Y. Olgac ◽  
...  
Keyword(s):  

2021 ◽  
Vol 14 (2) ◽  
pp. 94-100
Author(s):  
А. Гамбетти

Разработка оборудования для вакуумных, плазменных и тонкопленочных технологий – важная техническая задача современной наноиндустрии и микроэлектроники. Современные научные исследования немыслимы без высококачественной плазменной очистки поверхностей кремния, тонких полупроводниковых пленок и полимеров. Компания Gambetti Kenologia уже более 46 лет активно разрабатывает и продает качественное оборудование, использующееся в биомедицине, микрофлюидике и очистке металлов. Ориентированность на клиента, обеспечение сервисного обслуживания по всему миру делает ее весьма привлекательной и для российского рынка, на котором его будет представлять отечественная компания ООО "МИВАТЭК". Development of the instrumentation for vacuum, plasma and thin film technology is an important technological task for contemporary nanoindustry and microelectronics. Modern scientific research is inconceivable without high quality plasma cleaning of the surfaces of silicone, semiconductor thin film and polymers. For more than 46 years the company Gambetti Kenologia has been actively developing and selling high standard equipment which is being used in biomedicine and microfluidics, cleaning of metals. The client focus, provision of service support around the world makes the company rather attractive for the Russian market also, and there it will be represented by the national company MIVATEK LLC.


Author(s):  
Radko Tiňo ◽  
Katarina Vizárová ◽  
František Krčma ◽  
Milena Reháková ◽  
Viera Jančovičová ◽  
...  
Keyword(s):  

Sign in / Sign up

Export Citation Format

Share Document