scholarly journals Application of a pulsed, RF-driven, multicusp source for low energy plasma immersion ion implantation

Author(s):  
A.B. Wengrow ◽  
K.N. Leung ◽  
L.T. Perkins ◽  
D.S. Pickard ◽  
M.L. Rickard ◽  
...  
2016 ◽  
Vol 306 ◽  
pp. 336-340 ◽  
Author(s):  
K. Sangwijit ◽  
J. Jitonnom ◽  
S. Pitakrattananukool ◽  
L.D. Yu ◽  
S. Anuntalabhochai

2010 ◽  
Vol 67 (3) ◽  
pp. 361-364 ◽  
Author(s):  
R. López-Callejas ◽  
H. Millán-Flores ◽  
A.E. Muñoz-Castro ◽  
R. Valencia-Alvarado ◽  
A. Mercado-Cabrera ◽  
...  

2010 ◽  
Vol 68 (1-2) ◽  
pp. 142-145 ◽  
Author(s):  
R. López-Callejas ◽  
H. Millán-Flores ◽  
A.E. Muñoz-Castro ◽  
R. Valencia-Alvarado ◽  
A. Mercado-Cabrera ◽  
...  

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