Application of a pulsed, RF-driven, multicusp source for low energy plasma immersion ion implantation
A.B. Wengrow
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K.N. Leung
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L.T. Perkins
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D.S. Pickard
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M.L. Rickard
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2015 ◽
Vol 365
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pp. 389-393
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K. Sangwijit
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L.D. Yu
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S. Sarapirom
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S. Pitakrattananukool
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S. Anuntalabhochai
2016 ◽
Vol 306
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pp. 336-340
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K. Sangwijit
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J. Jitonnom
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S. Pitakrattananukool
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L.D. Yu
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S. Anuntalabhochai
Sangmoo Choi
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Hyejung Choi
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Tae-Wook Kim
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Hyundeok Yang
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Takhee Lee
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2004 ◽
Vol 186
(1-2)
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pp. 282-286
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S Mukherjee
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P.M Raole
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A Kumar
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I Chattoraj
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K.R.M Rao
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2010 ◽
Vol 67
(3)
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pp. 361-364
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R. López-Callejas
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H. Millán-Flores
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A.E. Muñoz-Castro
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R. Valencia-Alvarado
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A. Mercado-Cabrera
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2010 ◽
Vol 68
(1-2)
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pp. 142-145
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R. López-Callejas
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H. Millán-Flores
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A.E. Muñoz-Castro
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R. Valencia-Alvarado
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A. Mercado-Cabrera
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2002 ◽
Vol 150
(1)
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pp. 80-87
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K Ram Mohan Rao
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S Mukherjee
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P.M Raole
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I Manna
2020 ◽
Vol 1695
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pp. 012009
O O Permyakova
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A V Miakonkikh
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K V Rudenko
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A E Rogozhin