Low temperature direct wafer bonding of GaAs to Si via plasma activation
2013 ◽
Vol 102
(5)
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pp. 054107
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C. Y. Yeo
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D. W. Xu
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S. F. Yoon
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E. A. Fitzgerald
Hongyao Chua
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Xianshu Luo
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Wai Hong See Toh
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Junfeng Song
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Tsung-Yang Liow
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...
2014 ◽
Vol 64
(5)
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pp. 111-117
F. - S. Lo
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C. - C. Chiang
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C. Li
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T. - H. Lee
2013 ◽
Vol 50
(7)
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pp. 265-276
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M. Eichler
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P. Hennecke
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K. Nagel
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M. Gabriel
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C.-P. Klages
2016 ◽
Vol 75
(9)
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pp. 345-353
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F. Kurz
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T. Plach
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J. Suss
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T. Wagenleitner
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D. Zinner
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2000 ◽
Vol 36
(7)
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pp. 677
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M. Alexe
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V. Dragoi
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M. Reiche
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U. Gösele
T. Izuhara
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M. Leby
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R.M. Osgood
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A. Kumar
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H. Bakhru
2008 ◽
Vol 26
(4)
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pp. 1560
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V. Dragoi
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M. Alexe
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M. Reiche
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U. Gosele