Improved electrical properties of metal-oxide-semiconductor capacitor with HfTiON gate dielectric by using HfSiON interlayer
2007 ◽
Vol 91
(15)
◽
pp. 152905
◽
J. P. Xu
◽
F. Ji
◽
C. X. Li
◽
P. T. Lai
◽
J. G. Guan
◽
...
2014 ◽
Vol 61
(3)
◽
pp. 742-746
◽
Li-Sheng Wang
◽
Lu Liu
◽
Jing-Ping Xu
◽
Shu-Yan Zhu
◽
Yuan Huang
◽
...
2008 ◽
Vol 92
(26)
◽
pp. 262902
◽
X. F. Zhang
◽
J. P. Xu
◽
C. X. Li
◽
P. T. Lai
◽
C. L. Chan
◽
...
2015 ◽
Vol 106
(12)
◽
pp. 123504
◽
L. S. Wang
◽
J. P. Xu
◽
L. Liu
◽
H. H. Lu
◽
P. T. Lai
◽
...
2017 ◽
Vol 11
(9)
◽
pp. 1700180
◽
Li Ning Liu
◽
Hoi Wai Choi
◽
Jing Ping Xu
◽
Pui To Lai
2019 ◽
Vol 34
(3)
◽
pp. 035027
◽
Lu Liu
◽
Hanhan Lu
◽
Jingping Xu
◽
Pui-To Lai
◽
Wing-Man Tang
2008 ◽
Vol 93
(18)
◽
pp. 182109
E. Fazio
◽
F. Neri
◽
G. Curró M. Camalleri
◽
D. Calí
2013 ◽
Vol 103
(9)
◽
pp. 092901
◽
L. S. Wang
◽
J. P. Xu
◽
S. Y. Zhu
◽
Y. Huang
◽
P. T. Lai
2007 ◽
Vol 91
(9)
◽
pp. 093509
◽
N. Goel
◽
P. Majhi
◽
W. Tsai
◽
M. Warusawithana
◽
D. G. Schlom
◽
...
2017 ◽
Vol 110
(12)
◽
pp. 123506
◽
L. N. Liu
◽
H. W. Choi
◽
J. P. Xu
◽
P. T. Lai
2017 ◽
Vol 17
(2)
◽
pp. 458-462
◽
Han-Han Lu
◽
Jing-Ping Xu
◽
Lu Liu
◽
Pui-To Lai
◽
Wing-Man Tang