Thin electron beam defined hydrogen silsesquioxane spacers for vertical nanowire transistors
2014 ◽
Vol 32
(5)
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pp. 051211
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Elvedin Memišević
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Erik Lind
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Lars-Erik Wernersson
2014 ◽
Vol 8
(1)
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pp. 083098
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Michael G. Wood
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Li Chen
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Justin R. Burr
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Ronald M. Reano
2008 ◽
Vol 26
(6)
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pp. 2049-2053
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Vadim Sidorkin
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Emile van der Drift
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Huub Salemink
2007 ◽
Vol 25
(6)
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pp. 1998
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Anda E. Grigorescu
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Marco C. van der Krogt
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Cees W. Hagen
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Pieter Kruit
Augustin Jeyakumar
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Clifford L. Henderson
2009 ◽
Vol 27
(1)
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pp. 188
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Hyo-Sung Lee
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Jung-Sub Wi
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Sung-Wook Nam
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Hyun-Mi Kim
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Ki-Bum Kim
Hae-Jeong Lee
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Seong-Ho Kim
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Juseon Goo
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Byeong Jun Kim
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Ho-Kyu Kang
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2003 ◽
Vol 21
(5)
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pp. 2018
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W. Henschel
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Y. M. Georgiev
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H. Kurz
2010 ◽
Vol 28
(3)
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pp. 581-587
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D. L. Olynick
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B. Cord
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A. Schipotinin
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D. F. Ogletree
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P. J. Schuck
2011 ◽
Vol 88
(8)
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pp. 2338-2341
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M.A. Mohammad
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S.K. Dew
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S. Evoy
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M. Stepanova
2013 ◽
Vol 14
(1)
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pp. 94-100
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Damon J. Carrad
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Adam M. Burke
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Roman W. Lyttleton
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Hannah J. Joyce
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Hark Hoe Tan
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