Разработана эквивалентная схема, методика экстракции SPICE-параметров МДП-варактора на основе результатов проведенных измерений специальных тестовых структур в составе пластин, модель верифицирована, сформирован модуль, учитывающий статистический разброс значений параметров процесса технологического производства.
An appropriate equivalent circuit of MOS-varactor has been developed, as well as a technique for extracting its SPICE-parameters, based on the results of test structures measurements. The model has been verified, a statistical module has been created that takes into account the fabrication process parameters variation.