Single Langmuir Probe Measurements in an Unbalanced Magnetron Sputtering System
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pp. 962-968
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K. Honglertkongsakul
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S. Chaiyakun
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N. Witit-anun
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W. Kongsri
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P. Limsuwan
1996 ◽
Vol 29
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pp. 99-104
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C Wiemer
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F Lévy
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R Messier
2017 ◽
Vol 48
(1)
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pp. 61-66
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Julio César Sagás
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Rodrigo Sávio Pessoa
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Homero Santiago Maciel
1990 ◽
Vol 43-44
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pp. 270-278
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William D. Sproul
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Paul J. Rudnik
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Michael E. Graham
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Suzanne L. Rohde
2017 ◽
Vol 830
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pp. 012057
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D P Borisov
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V A Slabodchikov
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V M Kuznetsov
2009 ◽
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A. A. Solov’ev
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N. S. Sochugov
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K. V. Oskomov
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S. V. Rabotkin
2019 ◽
Vol 367
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Chuhan Sha
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Zhifeng Zhou
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Zonghan Xie
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Paul Munroe
1998 ◽
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1996 ◽
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F. Lévy
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R. Messier
2009 ◽
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Liang Han
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YuQing Zhao
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YanWu Wang
1998 ◽
Vol 98
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pp. 1426-1432
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P.-Y. Jouan
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A.-C. Vanderbecq
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J.-P. Dauchot
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M. Wautelet
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M. Hecq