Использование ИК спектроскопии для экспресс-анализа продуктов технологического процесса синтеза моносилана
Описана методика проведения экспресс-анализа триэтоксисилана и тетраэтоксисилана, являющихся промежуточными продуктами химических реакций, протекающих в рамках силановой технологии синтеза поликристаллического кремния. Для формирования методики использованы данные предварительных исследований триэтоксисилана и тетраэтоксисилана, полученные с помощью хромато-масс-спектрометра MSD 5975C–GC 7890 A. Непосредственно реализация экспресс-анализа триэтоксисилана и тетраэтоксисилана осуществлялась на ИК Фурье-спектрометре Agilent Technologies Cary 640 Series FTIR Spectrometer. При этом количественный экспресс-анализ, без необходимости наличия стандартов, производился на основе градуировочного графика, построенного с использованием соответствующих результатов хромато-масс-спектрометрических исследований.