Development of micromechanical resonators using a new process flow based upon SOI technology

2004 ◽  
Vol 15 (3) ◽  
pp. 557-563 ◽  
Author(s):  
X W Wang ◽  
R M Lin ◽  
Z Wang ◽  
W J Wang
Author(s):  
Chun-An Huang ◽  
Han-Yun Long ◽  
King-Ting Chiang ◽  
Li Chuang ◽  
Kevin Tsui

Abstract This paper demonstrates a new de-process flow for MEMS motion sensor failure analysis, using layer by layer deprocessing to locate defect points. Analysis tools used in this new process flow include IR optical microscopy, thermal system, SEM and a cutting system to de-process of MEMS motion sensor and successful observation defect points.


2015 ◽  
Vol 105 (10) ◽  
pp. 669-673
Author(s):  
C. Seyboldt ◽  
T. Schubert ◽  
O. Gerlach ◽  
M. Liewald ◽  
T. Weißgärber ◽  
...  

Hinsichtlich der Verarbeitung von partikelverstärkten Aluminiummatrix-Verbundwerkstoffen (AMC) zu komplexen Bauteilen mit hoher Endkonturnähe, Maßhaltigkeit und hervorragenden mechanischen Eigenschaften bietet die Formgebung im teilflüssigen Zustand aussichtsreiche Perspektiven. In diesem Zusammenhang beschreibt der Fachbeitrag eine neuentwickelte Prozessroute zur Herstellung von Hochleistungskomponenten aus solchen AMC-Werkstoffen und zeigt deren Potentiale auf.   With regard to the processing of particle-reinforced aluminum matrix composites (AMC) into complex parts with net-shape quality, high dimensional accuracy and favorable mechanical properties, the semi-solid forming technology provides good perspectives. In this context, this article deals with a new process flow for the production of high-performance components from such AMC materials and presents its potential.


2009 ◽  
Vol 156-158 ◽  
pp. 69-76 ◽  
Author(s):  
Oleg Kononchuk ◽  
Didier Landru ◽  
Christelle Veytizou

High temperature annealing of SOI wafers in non-oxidized ambient leads to internal Buried Oxide (BOX) dissolution. The underlying mechanisms and kinetics of this effect are discussed. High quality SOI wafers with very thin BOX down to 2nm are demonstrated utilizing optimized annealing conditions. Hybrid SOI/bulk wafers are obtained by the new process applying silicon nitride mask on the wafer surface. Stability of SOI and Si3N4/SOI systems at high temperatures is discussed and optimized process window is determined.


2014 ◽  
Vol 27 ◽  
pp. 1-4
Author(s):  
S. Brabender ◽  
K. Kolander ◽  
K.T. Kallis ◽  
H.L. Fiedler

This work presents a cost-effective and simple possibility to outperform the potential of a standard single side mask aligner. The limited functionality is extended to the capability of back side alignment with minimal effort without additional knowledge and integration of new process technologies. The whole presented process flow performs without the necessity of additional equipment as infrared back side wafer alignment kits or additional etching processes or clamps and brackets. The result is a front to back side alignment process with satisfactory deviation.


Author(s):  
O. Iantsen

Рассмотрены современные решения, предлагаемые для реконструкции малых очистных сооружений, в составе которых имеются биофильтры. Пик проектирования и строительства биофильтров пришелся на 1960 1970е годы. В настоящее время биологические фильтры зачастую служат для доочистки сточных вод. Предлагается снова их использовать в качестве основных очистных сооружений. Данные сооружения, как правило, конструктивно представляют собой железобетонные емкости, поэтому целесообразно разработать новые технологические схемы с учетом использования существующих сооружений. Рассмотрены три технологические схемы с различной комбинацией зон нитрификации и денитрификации. Приведены графические результаты санитарнотехнических анализов по ряду показателей, на основании которых показана достаточная эффективность очистки для сброса очищенной воды в водоемы рыбохозяйственного значения. Предложен метод расчета биофильтров для конкретных загрузочных материалов. Сделан вывод о том, что высота сооружения зависит не только от необходимой степени очистки, параметров поступающей воды, но и от вида и размера загрузочного материла. Предложенные технологические схемы позволят шире использовать биофильтры как при реконструкции существующих, так и при проектировании новых очистных сооружений.The advanced solutions proposed for the reconstruction of small wastewater treatment facilities that contain biofilters are considered. The peakpoint of designing and constructing biofilters occurred in the 1960 1970s. At present biological filters are often used for wastewater treatment. It is proposed to use them again as the basic treatment facilities. These structures, as a rule, are structurally reinforced concrete tanks so it is advisable to develop new process flow schemes taking into account the use of existing structures. Three process flow schemes with different combinations of nitrification and denitrification zones are considered. Graphic results of sanitary and technical analyses of a number of indicators are presented on the basis of which sufficient purification efficiency is shown that allows discharging effluents into fishery water bodies. A method for calculating biofilters for specific media materials is proposed. It is concluded that the height of the structure depends not only on the required level of purification, the parameters of the incoming water but also on the type and size of the media material. The proposed process flow schemes will provide for the wider use of biofilters both in the reconstruction of existing and in the design of new treatment facilities.


1916 ◽  
Vol 114 (9) ◽  
pp. 225-225
Author(s):  
Robert G. Skerritt
Keyword(s):  

Sign in / Sign up

Export Citation Format

Share Document