Plasma Chemical Vapor Deposition (PCVD)
2001 ◽
Vol 11
(PR3)
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pp. Pr3-691-Pr3-702
1989 ◽
Vol 50
(C5)
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pp. C5-667-C5-672
2009 ◽
Vol 23
(09)
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pp. 2159-2165
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2015 ◽
Vol 18
(1)
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1995 ◽
Vol 142
(11)
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pp. L208-L211
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1992 ◽
Vol 12
(1)
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pp. 55-69
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